金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍(Ni)等离子体的发射光谱诊断

• 作 者: 邓春凤 廖斌 陈一鸣 肖云剑 吴先映
• 机 构: 射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学核科学与技术学院北京市辐射中心
• 出 处: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 2011年6期
• 关键词: MEVVA源 等离子体发射光谱诊断 电子温度 电子密度
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目(10975020)

利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧（MEVVA）源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集,并用＂Plasus Specline＂软件对采集到的数据进行分析,得到各条谱线所对应的元素及元素电荷态、跃迁能级及其能量等信息.同时采用多谱线斜率法对镍等离子的电子温度进行计算,并利用电子温度对等离子体的电子密度进行计算,从而实现MEVVA源产生的金属镍等离子体的发射光谱诊断.