【摘 要】
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<正> 在普通的STM中,X,Y的扫描大都采用单压电陶瓷管扫描器。为了获得大的扫描范围。一般是将扫描管加长或提高扫描电压。但它要带来几个问题:扫描管太长,就得增大STM的尺寸,
【机 构】
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中科院半导体所,中科院北京电镜实验室
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<正> 在普通的STM中,X,Y的扫描大都采用单压电陶瓷管扫描器。为了获得大的扫描范围。一般是将扫描管加长或提高扫描电压。但它要带来几个问题:扫描管太长,就得增大STM的尺寸,势必使它的刚性下降。扫描管是一个整体,X与Y的扫描互相牵扯,即使增大电压,扫描范围不可能作得很大。另外,针尖的扫描面为一球面而不是平面。为此,我们制作了一种简单的小尺寸低电压大范围平面扫描的压电陶瓷双晶片扫描器,基本克服了上述的困难。它是由两个8×25×1mm~3的长条形双晶片互相垂直呈L形固定在一个
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