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与包括原子力显微镜在内的其他压痕形貌测量方法相比，光学显微镜以其非接触、大测量范围及较快的测量速度等优点在硬度测试中应用广泛，但包括共焦显微镜在内的常规显微镜其分辨率，特别是纵向分辨率，一直不能满足要求．为此开发了一种沿光轴方向的具有纳米分辨率的压痕成像系统．该系统基于层析全场显微术，即在常规光学显微镜的基础上引入结构光照明．应用移相方法得到样品的三维形貌．成像系统样机的测量结果表明，系统的纵向分辨率可达2nm，可以高精度地实现压痕的三维形貌测量，并量化揭示纳米压痕测试中常见的“坟起（pile-up）”及