GFAAS测定四氯化硅中超痕量Fe Cu Ni Mn Cr

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采用纯水,氢氟酸处理样品,结合高灵敏的GFAAS测定四氯化硅中超痕量Fe、Cu、Ni、Mn、Cr。方法简便、快速、灵敏度高、各元素的检出限(ng/mL)分别为Fe5,Ni0.8,Cu,Cr0.5,Mn0.2。
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