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针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件（DOE），对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑，利用同一个DOE加以整形的方法。模拟表明:整形后焦 斑的面形和边缘显著改善，衍射效率高于实用指标，提供一种改善系统分辨能力的有效途径。
激光直写系统焦斑整形的研究
【摘 要】
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针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件（DOE），对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑，利用同一个DOE加以整形的方法。模拟表明:整形后焦 斑的面形和边
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年1期
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