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类金刚石碳耐磨涂层的脉冲激光沉积评述
类金刚石碳耐磨涂层的脉冲激光沉积评述
来源 :国外金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wekey
【摘 要】
:
脉冲激光沉积是一种新兴技术,现已能生产出抗滑动磨损的尖金刚石涂层。本文介绍了控制DLC涂层生长的特征参数,其中包括:激光脉能量密度和波长,靶材和基体温度。
【作 者】
:
应郁平
【机 构】
:
北京航空航天大学继续教育学院
【出 处】
:
国外金属热处理
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
类金刚石碳
耐磨涂层
脉冲激光沉积
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脉冲激光沉积是一种新兴技术,现已能生产出抗滑动磨损的尖金刚石涂层。本文介绍了控制DLC涂层生长的特征参数,其中包括:激光脉能量密度和波长,靶材和基体温度。
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