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一种控制电流微商的微针尖制备仪
一种控制电流微商的微针尖制备仪
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:grand1008
【摘 要】
:
本文介绍了我们根据电流微商控制原理研制成的微针尖制备仪。它可对金属细丝的直流电解腐蚀过程进行自动控制,在选取适当的参数后能方便地制得曲率半径约500(?)、纵横比在0.7
【作 者】
:
陈虞峰
许卫
黄金林
【机 构】
:
复旦大学真空物理实验室,复旦大学真空物理实验室
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
微商
控制原理
纵横比
电解腐蚀
原子级
曲率半径
腐蚀过程
场发射
电化学腐蚀方法
扫描隧道显微镜
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本文介绍了我们根据电流微商控制原理研制成的微针尖制备仪。它可对金属细丝的直流电解腐蚀过程进行自动控制,在选取适当的参数后能方便地制得曲率半径约500(?)、纵横比在0.75~1.5之间的钨微针尖,可供FEM、FIM及SFM使用。
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