洁净室评价标准的有关问题

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本文内容包括作者对下述问题的看法:1.关于洁净度的评价;2.关于速度均匀性的评价;3.关于最小采样量和必要测点数。 This article includes the author’s views on the following issues: 1. Evaluation of cleanliness; 2. Evaluation of velocity uniformity; 3. Minimum sample size and necessary measurement points.
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