【摘 要】
：
介绍了一种应用电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的新方法 ,研究了N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对合成AlN薄膜质量的影响规律。结果表明 ,随N2 流量的增加 ,AlN
【机 构】
：
太原理工大学表面工程研究所!太原030024,太原理工大学表面工程研究所!太原030024西安交通大学材料科学与工程学院,西安700049,上海交通大学材料科学与工程学院!上海200030,太原理工大
论文部分内容阅读
介绍了一种应用电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的新方法 ,研究了N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对合成AlN薄膜质量的影响规律。结果表明 ,随N2 流量的增加 ,AlN薄膜的质量得以提高 ,当N2 流量达到 30mL·min-1时 ,可合成较纯净的AlN薄膜 ;阴极偏压主要影响合成薄膜的结晶状况 ;此外 ,基体材料本身及其表面状况也对合成薄膜的质量有一定影响
A new method of synthesizing AlN thin film by electron bath-assisted cathodic arc source was introduced. The influence of process parameters such as N2 flow rate, cathode bias voltage and working pressure on the quality of AlN thin films was studied. The results show that with the increase of N2 flow rate, the quality of AlN films can be improved. When the flow rate of N2 reaches 30mL · min-1, purer AlN films can be synthesized. Cathode bias mainly affects the crystallization of the films. In addition, Itself and its surface condition also have a certain impact on the quality of the synthetic film
其他文献
通过"丽江人家"居住区的创作,阐明在具有深厚文化底蕴的历史名城进行建筑创作,应从传统建筑中去寻找历史的意境,唤起居民对古城的典型印象、典型生活形态的回忆和共鸣,希望本
利用正交法设计实验,研究聚酰胺聚胺环氧氯丙烷树脂(PAE)的用量和加入点、阳离子淀粉(CS)用量和CPAM用量对硅酸钙加填纸的AKD施胶效果的影响.实验结果表明,影响硅酸钙加填纸
本文阐述了利用Pro/E软件设计真空装置管路系统的方法。对于简单的管路系统可采用普通的画法来设计。针对比较复杂的管路系统，可采用 Pro/E软件的管道模块来设计，此方法布线方
爱克发最近推出的Mistral印版是一种在技术上有所突破的热烧蚀性印版,它无需显影,在长版活印刷方面具有极高的质量,操作也很便利.这种免显影的印版基于先进的热烧蚀技术,可以
Harmony isn’t a new word but it has different meaning in different times.The samequality of harmony in various times can be summarized in one sentence:harmony
【摘 要】气象条件对渔业以及水产养殖等相关产业的影响一直是众多专家学者关注的课题。研究渔业与水域生态气象条件之间错综复杂的关系,对于气象为农服务及渔业的科学发展具有重要的现实意义。依据1961~1990年全国地面月报信息数据集提供的气象数据，从气温、气压和降水三个方面进行吴江市渔业气象条件初步分析。此研究对于加强吴江渔业气象预报服务、提高渔业安全生产管理以及增强渔业生产气象科技服务水平具有重要意义
2019珠江片区“中国航海日”活动已经成功落下帷幕.在媒体报道中,我们能感受到此次活动巨大的影响力.也让行业内外通过媒体的“刷屏”,感受到了这一场航运业的饕餮盛宴,一同
用氢氧化钠、硅酸钠、过氧化氢、高级脂肪酸皂类脱墨剂和复配表面活性剂在碱性条件下对废钞纸浆进行脱墨预处理,并通过洗涤法脱墨。在预处理的pH为11、Na2SiO3 2%、H2O2 1%、
【摘 要】通过对道真县的实际情况，调研了道真县公共气象服务能力和水平与经济社会发展日益增长的需求，通过加强公共气象服务的组织管理，建立公共气象服务的管理机构，与相关部门的多渠道沟通协作等机制，并提出了提高公共气象服务的几个主要途径，切实履行好气象部门作为公益性事业单位的公共服务职能。 【关键词】提高 公共气象服务水平 思考 道真县地处贵州高原向四川盆地过渡的斜坡地带，属中业热带高原
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥