一种采用聚酰亚胺封装的半导体膜触觉敏感器

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导言长期以来,开发一种满足敏感器的物理系统所需的并以手指为模型的触觉敏感器一直难以实现。人们研制了有效的作用力敏感器,却无法研制出触觉敏感器。目前,许多商品化敏感器在不同程度上加以改造可用来感知触觉,虽其属性适合于作为触觉敏感器。然而其外部封装仍不适合。比如说一个硅膜压力敏感器,它的许多特性使得它非常适合于感受触觉。硅片从理论上说是属完全弹性物质而没有晶粒界面 Introduction Tactile sensors that are needed to develop a finger-based model of a physical system that satisfies sensors have long been difficult to achieve. People have developed an effective force sensor, but can not develop a tactile sensor. Currently, many commercial sensors are modified to varying degrees to sense haptic, although their properties are suitable as haptic sensors. However, its external packaging is still not suitable. For example, a silicon membrane pressure sensor, its many features make it very suitable for feeling the touch. Silicon is theoretically a fully elastic material without a grain boundary
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