【摘 要】
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叙述用微细加工技术制作的非致冷单片式半导体薄膜电阻辐射热计红外探测器的结构模型。基于模型所预测的性能与实验结果相符合。性能分析表明，高的热绝缘和低噪声是高性能微辐
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叙述用微细加工技术制作的非致冷单片式半导体薄膜电阻辐射热计红外探测器的结构模型。基于模型所预测的性能与实验结果相符合。性能分析表明，高的热绝缘和低噪声是高性能微辐射热计红外探测器的关键
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