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采用溶盐法生长了大尺寸RbiOAsO4晶体。利用同步辐射形貌术和化学腐蚀法,研究了RbTiOAsO4晶体中的生长缺陷。发现该晶体中的生长缺陷主要生长位错和生长扇界。大部分位钷沿「100」方向,Burgers适量为「001」。在扫描电镜下,对原生RbTiOAsO4晶体的表面形态进行了观察,根据其表面二次电子像的特征,对不同晶面的生长控制机制进行了讨论。