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本文较详细地讨论了低压气相生长金刚石薄膜的三种典型方法,以及金刚石薄膜的结构和在红外光学、激光等领域中的应用。
金刚石薄膜的制备,结构以及在红外,激光领域中的应用
【摘 要】
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本文较详细地讨论了低压气相生长金刚石薄膜的三种典型方法,以及金刚石薄膜的结构和在红外光学、激光等领域中的应用。
【机 构】
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航天部○一四中心
【出 处】
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红外与激光技术
【发表日期】
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1993年3期
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