开关线型四位数字MEMS移相器

• 作 者: 朱健 周百令 林金庭 郁元卫 陆乐
• 机 构: 东南大学仪器科学与工程系,东南大学仪器科学与工程系,南京电子器件研究所
• 出 处: 固体电子学研究与进展
• 发表日期: 2005年3期
• 关键词: 微机电系统移相器 射频微机电系统开关 开关线 MEMS phase shifter RF MEMS switch swi.tched-line

介绍了一种基于射频微机械串联开关设计的开关线型四位数字微机电系统(Micro-electromechanical Systems以下简称MEMS)移相器.该移相器集成了16个RF MEMS开关,使用了13组四分之一波长传输线和MIM接地耦合电容,有效地使开关的驱动信号和微波信号隔离,串联容性开关设计有效地降低了开关的启动电压.使用低温表面微机械工艺在360 μm厚的高阻硅衬底上制作移相器,芯片尺寸4.8 mm×7.8 mm.移相器样品在片测试结果表明,频点10.1 GHz,22.5°相