【摘 要】
：
利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx：H和a-Si：H薄膜。通过电学、光学、力学测试研究了SiNx：H薄膜沉积条件对其界面性能的影响。研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界
【基金项目】
：
京东方研发基金(No.10D_HP_TFT)
论文部分内容阅读
利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx：H和a-Si：H薄膜。通过电学、光学、力学测试研究了SiNx：H薄膜沉积条件对其界面性能的影响。研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界面态,严重影响器件的TFT特性。当SiH4和NH3气体流量比值为7：15时,开关比（Ion/Ioff）可达3.24×107。适当增加功率同样可以提高Ion,但高于31.5W/cm2后,只会严重地增大薄膜的应力。优化SiNx：H的沉积参数,开关比可以提高5.5倍。
其他文献
<正>辽政发[2015]73号各市人民政府,省政府各厅委、各直属机构:按照《国务院关于调整和完善固定资产投资项目资本金制度的通知》(国发[2015]51号)有关要求,为进一步解决当前
化学平衡是高中化学学习的难点,也是学习其他平衡体系的基础。创设《探讨甘油水蒸气催化重整条件优化》的情境,采用微项目式学习,帮助学生建构优化反应条件的思维模型,以及分
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
语文是有生命的，语文的生命融入主体参与下的不断生成的语境和语流中，语文的学习应该是在这样活生生的动态的语言环境中进行的。新课标呼唤人文精神的教育。呼唤充满生命温暖的
采用Granier热扩散式探针对江西千烟洲木荷(Schima superba)树干液流速率进行连续监测,并对气象因子进行同步测定。结果表明:不同天气条件下木荷树干液流速率日变化规律存在
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
为了解河南省新乡市犬真菌性皮肤病的流行病学特点，本课题组收集了该地区2017年3月份—2018年2月份多家宠物诊疗机构有效病例共计519例，对患犬发病年龄、性别、发病季节、品种
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
文章应用车辆跟驰理论、交通心理学原理和微观安全评价方法，选取车辆加减速度作为施工区行车风险的度量指标，以交通流平均速度、平均车道占有率及速度变异系数等宏观交通流参数