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期刊论文
ECR微波等离子体源离子渗氮
ECR微波等离子体源离子渗氮
来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robinleslie
【摘 要】
:
研究了一种新的低温渗氮方法--电子回旋共振微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、45负和35CrMo钢试样在150 ̄350℃进行渗氮处理,测定了渗氮层的硬度和晶体结构,结果表明,纯铁在低于200℃的温度即可获得连
【作 者】
:
张仲麟
雷明凯
【机 构】
:
大连理工大学
【出 处】
:
金属热处理
【发表日期】
:
1996年10期
【关键词】
:
离子渗氮
等离子体源
热处理
ECR
微波
s:ion nitriding
ion implantation
plasma source
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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研究了一种新的低温渗氮方法--电子回旋共振微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、45负和35CrMo钢试样在150 ̄350℃进行渗氮处理,测定了渗氮层的硬度和晶体结构,结果表明,纯铁在低于200℃的温度即可获得连续分布的表面氮化物层,35CrMo钢在低于250℃温度处理也可获得离好渗氮层。
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