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简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况，CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力。预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间，但有些设备的出口潜力很大。
日本半导体制造设备市场一瞥
【摘 要】
：
简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况，CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力。预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间，但有些设备的出口
【机 构】
：
航天总公司西安微电子技术研究所
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
1994年2期
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