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针对切削深度、进给量、主轴转速三个因素制定了单因素试验方案,并进行了单晶硅片的金刚石飞切加工试验。通过对试验结果的电镜检测,得出了各因素对加工机理的影响规律。
金刚石飞切加工参数对单晶硅的脆—塑转变影响
【摘 要】
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针对切削深度、进给量、主轴转速三个因素制定了单因素试验方案,并进行了单晶硅片的金刚石飞切加工试验。通过对试验结果的电镜检测,得出了各因素对加工机理的影响规律。
【机 构】
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河南工业和信息化职业学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2016年9期
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