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本文用状态空间法对柔性铰链一体式ｘ—ｙ微动台的动力学系统进行了描述，建立起该系统的振动参数模型，从理论和实验两方面对系统的非参数模型进行了分析和结算，并对理想特征系统的实现问题进行了初步探讨。
纳米分辨率微动台机械结构动态特性的研究
【摘 要】
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本文用状态空间法对柔性铰链一体式ｘ—ｙ微动台的动力学系统进行了描述，建立起该系统的振动参数模型，从理论和实验两方面对系统的非参数模型进行了分析和结算，并对理想特征系统的实
【机 构】
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中科院长春光机所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
【基金项目】
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国家攀登计划的资助
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