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硅压力传感器研究现状
硅压力传感器研究现状
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lklolp000
【摘 要】
:
论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景。
【作 者】
:
王丰
【机 构】
:
黑龙江商学院电子工程系
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
硅
压力传感器
传感器
Silicon pressure sensorStructure of silicon cup
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论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景。
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