【摘 要】
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基于有限元软件COMSOL Multiphysics,建立了置于谐振腔的铜电极的电磁场与热传导双向耦合模型。在解析铜电极热源的基础上,通过加热位置的参数化扫描,确定了铜电极在腔体中加
【机 构】
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电子科技大学中山学院材料与食品学院
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基于有限元软件COMSOL Multiphysics,建立了置于谐振腔的铜电极的电磁场与热传导双向耦合模型。在解析铜电极热源的基础上,通过加热位置的参数化扫描,确定了铜电极在腔体中加热效率最高的最佳位置。其次,研究了铜表面粗糙度与温度之间的关系,发现表面粗糙度在0~10 μm时温度急剧递增,在10~50 μm时温度平缓,稳定在2250℃~2264℃之间。该温度已达到激发液下等离子体条件。
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