【摘 要】
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日研制出nm级X射线膜厚测定仪日本理学电机（株）研制出可以测定１nm级超薄金属膜的射线膜厚测定仪GXR３００并已开始出售。该产品是通过X射线干涉测定膜厚，通过X射线衍射测定膜结构，通过荧
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日研制出nm级X射线膜厚测定仪日本理学电机（株）研制出可以测定１nm级超薄金属膜的射线膜厚测定仪GXR３００并已开始出售。该产品是通过X射线干涉测定膜厚，通过X射线衍射测定膜结构，通过荧光X射线分析进行膜组分分析的复合型系统。此前，上述工作通常是分别在不同的仪器上完
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