真空微电子器件发射体材料研究概况

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改善真空微电子器件发射体材料的性能,有助于大大提高真空微电子器件的性能。本文概述了近年来真空微电子器件发射体材料研究状况,认为目前对金属薄膜材料,合金材料,金刚石薄膜,碳化物,硅化物等的场发射特性的研究工作,将产生一些性能优异的发射体材料。
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