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采用纳米压入法对Sn3.0Ag0.5Cu无铅焊点金属间化合物(IMCs)Cu_3Sn和Cu_6Sn_5进行测试,对其不同压入应变率下(P/P&=0.01,0.05,0.25,0.5 s-(-1))的力学性能进行研究。结果发现金属间化合物具有应变率敏感性,Cu3Sn和Cu6Sn5加载曲线的锯齿流变不同,表明两者在弹-塑性转变过程中的位错成核与增殖程度不同;不同应变率下Cu_3Sn和Cu_6Sn_5的接触刚度均与压入深度呈线性关系且Cu_3Sn的弹性模量和硬度明显高于Cu_6Sn_5,随着应变率的增大二者的硬