射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究

• 作 者: 霍伟刚 杨艳 刘成森 丁振峰
• 机 构: 辽宁师范大学物理与电子技术学院,大连水产学院生命科学技术学院,大连理工大学物理系
• 出 处: 辽宁师范大学学报：自然科学版
• 发表日期: 2008年2期
• 关键词: 射频等离子体 调谐基片自偏压 正反馈 radio-frequency plasma tuned substrate self-bias positive fee
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目（10175014）

在已有的调谐基片自偏压研究的基础上，进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响；研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响，发现了在电阻值区自偏压自振荡现象；在不同的放电参数下，采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布．并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释．