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介绍了一种采用化学气相沉积技术,利用SiCl4+CH4体系快速沉积SiC涂层的方法,并讨论了工艺条件对沉积过程的影响.结果表明,采用SiCl4+CH4体系在900 ℃便可实现SiC的快速沉积,此方法所得SiC涂层的纯度不高,但适用于制备构件的抗烧蚀涂层.
SiC涂层的快速气相沉积
【摘 要】
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介绍了一种采用化学气相沉积技术,利用SiCl4+CH4体系快速沉积SiC涂层的方法,并讨论了工艺条件对沉积过程的影响.结果表明,采用SiCl4+CH4体系在900 ℃便可实现SiC的快速沉积,
【机 构】
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兵器工业第五九研究所
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2004年4期
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