【摘 要】
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0.引言高分辨率的精密位移测量系统是长度测量仪器及现代机床的重要基础。这方面用得最普遍的标准件有如线纹尺、光栅、块规、齿条及精密丝杠等。但是,这些标准件在与以光波
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0.引言高分辨率的精密位移测量系统是长度测量仪器及现代机床的重要基础。这方面用得最普遍的标准件有如线纹尺、光栅、块规、齿条及精密丝杠等。但是,这些标准件在与以光波(波长)来定义的长度单位相联系时(即在精密确定其实际长度时)的误差以及它们的极限分辨率,有时并不能满足最现代化的测量及定位装置的要求。在测量技术中
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