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作为先进制造业的典型代表，晶圆制造具有三大特性：资金密集，技术密集，产品复杂。在此环境下，计算机集成制造广泛应用于MES、Dispatch、传送、品质管理等各个方面，并不断向前发展。
晶圆制造中的自动化管理
【摘 要】
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作为先进制造业的典型代表，晶圆制造具有三大特性：资金密集，技术密集，产品复杂。在此环境下，计算机集成制造广泛应用于MES、Dispatch、传送、品质管理等各个方面，并不断向前发展。
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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中国高新技术企业
【发表日期】
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2013年17期
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