【摘 要】
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本文介绍了亚微米电子束曝光机数控电流原系统。该系统在结构上抛弃了传统的开环控制的方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源,实现了闭环控制。该系统集高稳定
【机 构】
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山东工业大学电子束科研室,山东工业大学电子束科研室,山东工业大学电子束科研室,
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本文介绍了亚微米电子束曝光机数控电流原系统。该系统在结构上抛弃了传统的开环控制的方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源,实现了闭环控制。该系统集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。
This article describes the sub-micron electron beam lithography NC current system. The system has abandoned the traditional way of open-loop control structure, for the first time the voltage / frequency converter (VFC) for continuously adjustable power supply to achieve a closed-loop control. The system combines high stability, high precision, high noise immunity, high current, low noise, multiple outputs and computer control. The successful development of this system lays the foundation for automatic sub-micron electron beam exposure machine Can be used for other areas requiring high stability CNC power supply.
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怀人对月倚南楼，触起离情泪怎收？ 自记与郎分别后，好似银河隔绝女牵牛。 好花自古香唔久，只怕青春难为使君留。 他乡莫恋残花柳，但逢郎便买转归舟。 相如往事郎知否？你睇好极文君尚叹白头。 初更残报月生西，怕听林间嗰只杜鹃啼。 声声泣血榴花底，佢话胡不归来胡不归。 怎得魂归郎府第？等佢唤转郎心早日到嚟。 免令两家音信滞，好似伯劳飞燕各东西。 就系柳丝难把心悬系，总系落花无主葬在春泥。