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【摘 要】
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本文所报道的中微半导体设备(上海)有限公司,是我国在集成电路制造设备领域的一个杰出企业。中微多年专攻等离子刻蚀设备的研制,紧跟国际技术前进步伐,现已跻身国际一流行列,
【出 处】
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经济导刊
【发表日期】
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2018年08期
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