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用HFCVD方法在Ho衬底上进行了金刚石薄膜生长研究,观察到在不同的反应压强条件下,金刚石薄膜晶粒的三种形貌,并且讨论了反应条件对晶粒形貌的影响以及菜花状大晶粒的构成机理。
Mo衬底生长金刚石薄膜表面晶形研究
【摘 要】
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用HFCVD方法在Ho衬底上进行了金刚石薄膜生长研究,观察到在不同的反应压强条件下,金刚石薄膜晶粒的三种形貌,并且讨论了反应条件对晶粒形貌的影响以及菜花状大晶粒的构成机理
【机 构】
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航空航天部第014中心,合肥工业大学应用物理系
【出 处】
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高压物理学报
【发表日期】
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1993年2期
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