论文部分内容阅读
为找到合适的工艺方案,使之能通过磁控溅射在调质40Cr表面制备得到性能良好的CrN涂层,采用正交试验的方法进行试验设计及数据分析。选取氮气流量、工作真空度、靶功率、沉积时间为主要因素,将涂层表面光洁度、涂层厚度、涂层硬度、涂层与基体的结合力作为衡量标准。结果表明最佳工艺方案为:N:流量为40seem,工作真空度为1.2Pa,靶功率为150W,沉积时间为120min。