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随着集成电路特征尺寸的不断减小，互连线的串扰噪声对工艺波动的灵敏度也在相应增加。通过分析互连几何参数波动对互连寄生参数的影响，得到其近似的函数关系表达式，在此基础上建立了考虑工艺波动的串扰噪声的统计模型。利用该模型可以得到互连串扰噪声均值和标准差的解析表达式。计算结果表明：和HSPICE相比，该方法在确保计算精度的前提下大大缩短了计算时间，在超大规模集成电路互连信号完整性的分析和优化中具有一定的应用前景。