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采用正交试验方法研究了超超临界汽轮机用耐热钢ZGlCr10MoWvNbN的热处理工艺，分析了正火温度、保温时间和回火温度三个主要因素对该钢组织和性能的影响规律，对其热处理工艺进行了优化。结果表明：在1100℃保温5h后空冷正火处理，然后670℃保温5h回火后随炉冷到300℃以下出炉空冷，其综合力学性能最佳。