微机械加速度计校正电路的工程设计

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梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器,通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求,需要采用校正电路。微机械表头性能具有较大的离散性是工程中的常见问题。本文根据控制理论结合工程试验,针对表头转角频率和低频增益等参数对校正电路设计方案进行分类。使系统在满足带宽的前提下,在全量程范围内具有充足的稳定裕量。并且,为了适应工程应用,电路形式采用两个运放,保证了电路形式的简单,为电路冗余设计提供了方便。通过较多数量的试验验证,此种方法对闭环系统的稳定性、带宽有很好的控制
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