Ion implantation of semi-insulating InP materials

来源 :Semiconductor Photonics and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：jingliang2xx

【摘要】

：

Ｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｏｆｓｅｍｉ－ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇＩｎＰｍａｔｅｒｉａｌｓＺＥＮＧＱｉｎｇｇａｏ（ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｙｏｎｇｃｈｕａｎ６３２１６３，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃ... Ionimplantation of semiconductor-insulating In Materials ZENGQinggao (Chongqing Optoelectronics Research Institute, Yongchuan

【出处】

：

Semiconductor Photonics and Technology

【发表日期】

：

1995年Z1期

【关键词】

：

insulating implantation

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