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用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼…

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：striving123

【作 者】

：

Okamo. M 李光志 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

氮化硼 薄膜 沉积 等离子体应用 

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