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提出微光机电(MOEMS)惯性器件技术,对其优势和研究价值进行了理论分析.介绍了国外MOEMS陀螺的工作原理、结构、性能指标及研究状况,初步探讨了微光机电陀螺的应用前景和技术发展途径,以及惯性器件的发展方向.
微光机电(MOEMS)陀螺的技术及发展
【摘 要】
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提出微光机电(MOEMS)惯性器件技术,对其优势和研究价值进行了理论分析.介绍了国外MOEMS陀螺的工作原理、结构、性能指标及研究状况,初步探讨了微光机电陀螺的应用前景和技术
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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2005年2期
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