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以光学干涉方法，实验研究了在ＣＯ２激光束入射硅镜上，硅镜热畸变的动态过程，在变形之初，硅镜镜面的位移量变化迅速。对于一面φ７０ｍｍ，厚８ｍｍ的硅镜，吸收激光功率１４０Ｗ，作用时间４ｓ时最大挠度形０．７６μｍ，这对于高功率短波长激光器而言是不可忽略的。
高功率CO2激光作用下硅镜热畸变的动态过程研究
【摘 要】
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以光学干涉方法，实验研究了在ＣＯ２激光束入射硅镜上，硅镜热畸变的动态过程，在变形之初，硅镜镜面的位移量变化迅速。对于一面φ７０ｍｍ，厚８ｍｍ的硅镜，吸收激光功率１４０Ｗ，作用时间４ｓ时最大挠度形０．７６μｍ，这对于高功
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1998年2期
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