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本文介绍了静电三探针的诊断原理,发展了一套用于等离子体诊断的动态扫描三探针实验系统。该系统可记录探针的伏安特性曲线及其二阶导数,测量等离子体的电子密度,电子温度和电子能量分布函数。分析了该系统的实验精度,给出了三探针诊断系统应用于HLD-30型辉光放电离子源内等离子体特性测量的实验结果。
DC放电Plasma动态扫描三探针系统
【摘 要】
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本文介绍了静电三探针的诊断原理,发展了一套用于等离子体诊断的动态扫描三探针实验系统。该系统可记录探针的伏安特性曲线及其二阶导数,测量等离子体的电子密度,电子温度和
【机 构】
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武汉城市建筑学院基础科学系
【出 处】
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土木工程与管理学报
【发表日期】
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1989年3期
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