【摘 要】
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本文应用热力学成核理论研究了低压气相生长金刚石薄膜过程中，金刚石在非金刚石衬底表面的成核行为，在计入原子氢对稳定核和衬底刻蚀作用情况下，建立了平表面衬底上稳定原子团的
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本文应用热力学成核理论研究了低压气相生长金刚石薄膜过程中，金刚石在非金刚石衬底表面的成核行为，在计入原子氢对稳定核和衬底刻蚀作用情况下，建立了平表面衬底上稳定原子团的生长方程及成核理论。该理论与已有的实验事实是一致的，并且在线性近似条件下得到了一些有意义的结果。
In this paper, the nucleation behavior of diamond on the surface of non-diamond substrate during low-pressure vapor deposition of diamond thin film was studied by thermodynamic nucleation theory. Under the condition of atomized hydrogen to stabilize the nucleation and substrate etching, a flat surface liner Growth equation and nucleation theory of stable atomic radicals on the bottom. The theory is consistent with the existing experimental facts, and some meaningful results are obtained under the condition of linear approximation.
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