Si离子注入对分子束外延Si_(1-x)Ge_x/Si量子阱发光特性的影响

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对分子束外延生长带边激子发光的Si1-xGex/Si量子阱结构,通过Si离子自注入和不同温度退火,观测到深能级发光带和带边激子发光的转变.Si离子注入量子阱中并在600℃的低温退火,形成链状或小板式的团簇缺陷,它导致深能级发光带的形成,在850℃的高温退火后重新观测到带边激子发光.这种团簇缺陷的热离化能约为01eV,比Si中空穴或填隙原子缺陷的热激活能(约005eV)高.这表明早期文献中报道的深能级发光带是由类似的团簇缺陷产生的. For the Si1-xGex / Si quantum well structure with molecular beam epitaxy and edge-exciton emission, the transition of deep-level emission bands and exciton emission was observed by Si ion self-implantation and annealing at different temperatures. Si is ion-implanted into the quantum well and annealed at a low temperature of 600 ° C to form a chain-like or small-plate cluster defect that leads to the formation of a deep-level light emitting band. The band exciton luminescence is revisited after annealing at a high temperature of 850 ° C . The thermal dissociation energy of this cluster defect is about 0.1eV, which is higher than the thermal activation energy (about 005eV) of defects in Si hole or interstitial atoms. This shows that deep-level luminescent bands reported in earlier literature were generated by similar cluster defects.
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