【摘 要】
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本文提出了一种以聚酰亚胺为介质膜的电容式湿度传感器.它的工作原理是,在不同的湿度环境下,聚酰亚胺—水系统介电常数改变引起传感器电容的变化.该传感器具有工艺简单、体积
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
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本文提出了一种以聚酰亚胺为介质膜的电容式湿度传感器.它的工作原理是,在不同的湿度环境下,聚酰亚胺—水系统介电常数改变引起传感器电容的变化.该传感器具有工艺简单、体积小、灵敏度高、响应快等优点.该文介绍了它的结构、制造工艺和试验结果.
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