基于CAM的STM和AFM的一种新型偏心升降装置研究

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根据STM和AFM的扫描原理,通过CAM设计了一种新型偏心升降装置,使STM和AFM测试样品的高度大为增加,形成柔性测试系统.根据对实际工况的仿真研究,对装置进行了修改.
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