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研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ2mm的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ2mm×8mm的压电陶瓷圆棒,马达整体装配外形尺寸Φ2mm×12mm,重量不足0.25g,稳定工作频带宽,约为3kHz,最高空载转速不低于500r/min。