直径75mm砷化镓高压单晶炉

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songyingling
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直径75mm砷化镓高压单晶炉南京电子器件研究所于80年代初曾研制了一台直径50mm砷化镓单晶炉。该炉自投产以来,在科研生产中发挥了很大作用。为了满足微波器件和GaAs集成电路对GaAs材料性能提出的愈来愈高的要求,该所从1992年开始又研制新一代直径... Diameter gallium arsenide 75mm single crystal furnace Nanjing Institute of Electronic Devices in the early 1980s has developed a 50mm diameter gallium arsenide crystal furnace. The furnace has been put into operation in scientific research and production has played a significant role. In order to meet the higher and higher requirements of GaAs materials and microwave devices and GaAs ICs, the company has developed a new generation of ...
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