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【摘 要】
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为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试系统上,研
【机 构】
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清华大学电子工程系,北京,100084
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2009年4期
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