【摘 要】
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通过引入轴向反应源转化率η(x)和径向反应源转化率η_f(ρ),分别导得了淀积速率在卧式反应器中沿轴向及径向分布的解析表达式.从中可以清楚地看出反应器几何参数以及工艺参
【机 构】
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复旦大学材料系,复旦大学材料系,复旦大学材料系 上海,上海,上海
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通过引入轴向反应源转化率η(x)和径向反应源转化率η_f(ρ),分别导得了淀积速率在卧式反应器中沿轴向及径向分布的解析表达式.从中可以清楚地看出反应器几何参数以及工艺参数对淀积速率分布的影响.将其用于对多晶硅淀积的模拟,与实验结果相符很好.
By introducing the axial reaction source conversion η (x) and the radial reaction source conversion η_f (ρ), the analytical expressions of the deposition rate in horizontal and axial directions are obtained respectively. The effect of reactor geometry parameters and process parameters on the deposition rate distribution is clearly seen, and is used to simulate the deposition of polycrystalline silicon in good agreement with the experimental results.
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