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设计了一种高速实时成像的激光雷达。这种新的高速扫描激光雷达系统由准直激光器、一维微电子机械系统(MEMS)振镜、反射镜、驱动电机和接收探测器组成,其核心器件是基于MEMS的微扫描反射镜。该MEMS微扫描器激光雷达系统具有高精度、低成本、高速度和三维实时成像等优点。
基于MEMS高速光学扫描系统
【摘 要】
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设计了一种高速实时成像的激光雷达。这种新的高速扫描激光雷达系统由准直激光器、一维微电子机械系统(MEMS)振镜、反射镜、驱动电机和接收探测器组成,其核心器件是基于MEMS的微扫描反射镜。该MEMS微扫描器激光雷达系统具有高精度、低成本、高速度和三维实时成像等优点。
【机 构】
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上海市激光技术研究所
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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2021年2期
【基金项目】
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上海市科学技术委员会科研计划项目(19511108600)。
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