论文部分内容阅读
采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流以及镀膜时间等参数，在３１０ＳＳ（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）基片上制备了多种成分的Ｎｂ１－ｘＡｌｘ（０．３８〈ｘ〈０．６４）合金薄膜。结果表明，选择适当的基生负偏压和分离靶弧电流可制得所需成分的二元合金薄膜。对所制备的Ｎｂ１－ｘＡｌｘ薄膜，分别做了６００℃、９００℃的热腐蚀实验（低温热腐蚀和高温热腐蚀），热腐蚀实验表明，该薄膜具有较好